Cascade
PA200 BlueRay
200mm半/全自动量产型探针台
PA200 BlueRay 概述
半自动或全自动高吞吐量测试
PA200 BlueRay™ 可实现光电（如 LED）、MEMS（比如压力传感器）和 RF（例如 SAW/BAW 滤波器）器件的高吞吐量功能测试。其精度可确保平稳的探针降落，具有安全、可重复的电接触。PA200 BlueRay 专为实现每天 24 小时、每周 7 天的不间断运行而设计，可现场升级晶圆传送机械。
Applications: RF/mmW, Opto, MEMSPA200 BlueRay 主要特征
高吞吐量
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Die到Die之间的步进时间小于100ms
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多Die测量技术可实现20 Dies/s(70,000 Dies/h)的测量速率
- 能更快地获得测量数据
Z 轴准确度
- 在所有生产型探针中具有最高的 Z 轴分辨率
- 独特的 Z 轴剖析功能
- 即使是高度方面的极端变化（比如，晶圆发生扭曲的场合）也可予以补偿
- 最大限度减小Pad上划痕
- 提升良率
高效益
- 极小的占地面积
- 配有与主流分析仪表、软件和测试机的通讯接口
- 低拥有成本
- 投资回报快
双面测试选项
- 背面仪表，例如，积分球、光纤设置、压力模块
- 可接触被测器件 (DUT) 和正面和反面
- 高度准确的光测量
Velox 探针台控制软件
- 以用户为中心的设计最大程度地减少了培训成本并提高了效率
- 全面的对齐功能–从简单的晶圆图建立和对齐到先进的自动探针与pad对位
- 为经验不足的用户简化操作流程：工作流程指南和精简的用户图形界面帮助降低培训成本
- VeloxPro选件：符合SEMI E95的测试执行软件，可简化操作和整个晶圆测试周期的安全自动测量。
可升级至全自动化系统（选项）
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现场升级晶圆传送装置
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实现7X24小时不间断、全自动作业
