Cascade
PM300
300mm手动探针台
PM300 概述
精确和稳定的300mm探针台
PM300分析探针台是手动半导体故障分析和在线测试的行业基准。无论您的应用如何，这款多功能探针台系统的卓越机械结构均可提供稳定，精确的系统设置。
PM300 可作为开放或屏蔽式系统 PM300PS 提供。
PM300PS 手动分析型探针系统为器件特性描述和建模、工艺开发、晶圆级可靠性、故障分析和 3D IC 工程测试创建了一种无电磁干扰 (EMI) 和射频干扰 (RFI) 的测量环境。
Applications: IV/CV, RF/mmW, Failure Analysis, WLRPM300 主要特征
优越的力学
- 高度稳定的花岗岩底座
- X 和 Y 轴的独立粗动与简易的精细调节相结合
- 卓越的测量准确度和重复精度
- 快速导航和高精度探针定位
高灵活性
- 可针对DC、RF、mmW、FA、WLR等进行灵活配置
- -60°C 至 +300°C 的完整温度范围
- 多个附件：热载物台、机动化显微镜和定位器、暗箱，等等
- 40mm探针座承载平台高度调节
- 提供了升级途径以满足用户的未来需求
- 晶圆和封装器件测试之间的快速转换
简单易用
- 低调，简洁的设计
- 宽敞的屏蔽室可容纳多达12个探针座
- 简单且符合人体工程学的操作
屏蔽
- 通过提供完全电磁屏蔽，超低噪音，不透光的环境，降低电噪声
- 可在低至-60℃条件下实现aA电流、fF电容和μV电压的测量
- 适合诸如 1/f 噪声测量等敏感应用的理想条件
- 可提供 -60°C 至 +300°C 的完整温度范围
