Cascade
MPS150
150mm模块化探针台$13,880起
MPS150 概述
低成本模块化灵活定制150mm探针台！
FormFactor为其一流的150mm探针台引入了模块化概念。客户以低成本轻松配置探针台方案，满足当前和未来的需求。客户只需选择主机型，再按需要选择配件或套装。
可用选项
显微镜
- 立体变焦显微镜
- 高分辨率显微镜
应用套装（含探针）
- IV / CV
- 基础射频
- 毫米波
- 是Keysight N5291组合
- 与VDI扩频模块组合
- 与Focus Delta Tuner组合
- 先进太赫兹（THz）
- 失效分析
- 大功率
定位器套件
- 基础版
- 毫米波（mmW）/太赫兹（THz）/负载牵引针座
载物台
- 同轴
- 三轴
- 射频
- 高温
- 大功率
探针台基座
- 基础版
- 毫米波（mmW）/太赫兹（THz）/负载牵引探针台基座
示例：完整的150毫米入门级IV / CV手动探针台
其他配置示例
同轴-直流参数测量，漏电低至pA级别
- 可移动针座承载平台，高度调节为40mm，接触/分离行程为200μm，重复精度为±1μm
- 载物台基座移动摩擦力可调、可锁定，具有独特的Z方向调节功能和90mm拉出设计
- 磁吸针座有三个精密线性滚珠轴承，1μm分辨率
Triax –低噪声测量，低至fA级别
- 体式显微镜：15x–100x放大倍率，具有大视场和CCD安装接口
- 四个三轴探针臂和高质量三轴电缆
- 光/EMI 屏蔽（可选）
- 用于 fF 级别测量的升级选项
- 三轴载物台θ方向可±8°微调，有三个辅助载物台，表面平整度±5μm，确保接触力度一致性
- 利用单一设置可完成东/西至北/南测量
至67 GHz射频测试
- 提供三种可选探针：INFINITY，ACP探针，| Z | 探针
- 含匹配的电缆和校准片
- RF 芯片载物台的表面平坦度为 ±3 μm
- 独特的200μm探针座承载平台接触/分离行程，重复性≤±1μm
- WinCal XE 校准软件
毫米波（mmW）-70GHz到Sub-THz和负载牵引
- SlimVue显微镜，可快速更换镜头，光学分辨率为1um，可分辨50um Pad
- 毫米波（mmW）针座承载平台上刻有SIGMA套装摆放标识
- 支持高频、负载牵引、同轴电缆和波导配置
- 针座承载平台的位置可通过指示计直接读出
- 防震台
太赫兹（THz）和负载牵引测试
- SlimVue显微镜，可快速更换镜头，光学分辨率为1um，可分辨50um Pad
- 毫米波（mmW）针座承载平台上刻有SIGMA套装摆放标识
- 支持高频、负载牵引、同轴电缆和波导配置
- 针座承载平台的位置可通过指示计直接读出
- 坚固的机械设计和隔振平台
- 亚微米级精度
- 电动定位器
- 探针座承载平台接触/分离重复性＜±1um
- 千分尺调节，保证精确和可重复的扎针
失效分析和设计调试测试
- 稳定的显微镜桥架设计，显微镜放大倍数高达4000X（可选）
- 可加激光和相机
- 可实现亚微米级扎针精度
- 可使用探针卡和工程探针（可选）
- 载物台可放置单颗DUT
- 从晶圆至芯片至封装的极快转移
- 真空吸附针座具有1μm的特征分辨率
- 具有纳米级分辨率和准确度的 DPP450 针座（选项）
晶圆级功率器件特性测试
- 优化的测量设置
- 优化的信号路径
- 各种不同分析仪的无缝集成
- 表面镀金的高隔离度三轴载物台，可用于低漏电测量，最高支持3kV
- 支持100A大电流测试，接触电阻最低
- 可升级成10kV测试（同轴）
- 薄晶圆处理能力
- 防电弧设计和先进的接地概念
- 带互锁的屏蔽罩，用于EMI /不透光环境
- 为使用者和器件提供了针对高压电击的最大程度保护
MPS150 主要特征
灵活性
- 非常适合众多的应用，如 RF、毫米波、亚太赫兹 (sub-THz) 特性分析、FA、DWC、MEMS、光电测试和 WL
- 当要求提高和增加时，可重新配置和升级
- 最大限度地缩短了设置时间，并未损失性能或准确度
- 各种不同测量仪器的无缝集成
稳定性
- 坚固的探针台框架
- 内置隔振解决方案，用于实现绝佳的减振
- 坚固的显微镜桥
- 紧凑和坚固的机械设计
- 高度准确的测量结果
- 运用了最知名的方法
简单易用
- 符合人体工程学和简单直接的设计用于实现舒适和简易的操作
- 低调的设计
- 简单的显微镜操作
- 通过拉出台实现 DUT 的快速及符合人体工程学的变更
- 最大限度减少了培训工作量
- 可快速获取测量数据
- 操作简便
视频
MPS150模块化探针台$13,880起
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