MPS150 概述
低成本模块化灵活定制150mm探针台!
FormFactor为其一流的150mm探针台引入了模块化概念。客户以低成本轻松配置探针台方案,满足当前和未来的需求。客户只需选择主机型,再按需要选择配件或套装。

可用选项

显微镜
- 立体变焦显微镜
- 高分辨率显微镜

应用套装(含探针)
- IV / CV
- 基础射频
- 毫米波
- 是Keysight N5291组合
- 与VDI扩频模块组合
- 与Focus Delta Tuner组合
- 先进太赫兹(THz)
- 失效分析
- 大功率

定位器套件
- 基础版
- 毫米波(mmW)/太赫兹(THz)/负载牵引针座

载物台
- 同轴
- 三轴
- 射频
- 高温
- 大功率

探针台基座
- 基础版
- 毫米波(mmW)/太赫兹(THz)/负载牵引探针台基座
示例:完整的150毫米入门级IV / CV手动探针台

其他配置示例

同轴-直流参数测量,漏电低至pA级别
- 可移动针座承载平台,高度调节为40mm,接触/分离行程为200μm,重复精度为±1μm
- 载物台基座移动摩擦力可调、可锁定,具有独特的Z方向调节功能和90mm拉出设计
- 磁吸针座有三个精密线性滚珠轴承,1μm分辨率

Triax –低噪声测量,低至fA级别
- 体式显微镜:15x–100x放大倍率,具有大视场和CCD安装接口
- 四个三轴探针臂和高质量三轴电缆
- 光/EMI 屏蔽(可选)
- 用于 fF 级别测量的升级选项
- 三轴载物台θ方向可±8°微调,有三个辅助载物台,表面平整度±5μm,确保接触力度一致性
- 利用单一设置可完成东/西至北/南测量

至67 GHz射频测试
- 提供三种可选探针:INFINITY,ACP探针,| Z | 探针
- 含匹配的电缆和校准片
- RF 芯片载物台的表面平坦度为 ±3 μm
- 独特的200μm探针座承载平台接触/分离行程,重复性≤±1μm
- WinCal XE 校准软件

毫米波(mmW)-70GHz到Sub-THz和负载牵引
- SlimVue显微镜,可快速更换镜头,光学分辨率为1um,可分辨50um Pad
- 毫米波(mmW)针座承载平台上刻有SIGMA套装摆放标识
- 支持高频、负载牵引、同轴电缆和波导配置
- 针座承载平台的位置可通过指示计直接读出
- 防震台

太赫兹(THz)和负载牵引测试
- SlimVue显微镜,可快速更换镜头,光学分辨率为1um,可分辨50um Pad
- 毫米波(mmW)针座承载平台上刻有SIGMA套装摆放标识
- 支持高频、负载牵引、同轴电缆和波导配置
- 针座承载平台的位置可通过指示计直接读出
- 坚固的机械设计和隔振平台
- 亚微米级精度
- 电动定位器
- 探针座承载平台接触/分离重复性<±1um
- 千分尺调节,保证精确和可重复的扎针

失效分析和设计调试测试
- 稳定的显微镜桥架设计,显微镜放大倍数高达4000X(可选)
- 可加激光和相机
- 可实现亚微米级扎针精度
- 可使用探针卡和工程探针(可选)
- 载物台可放置单颗DUT
- 从晶圆至芯片至封装的极快转移
- 真空吸附针座具有1μm的特征分辨率
- 具有纳米级分辨率和准确度的 DPP450 针座(选项)

晶圆级功率器件特性测试
- 优化的测量设置
- 优化的信号路径
- 各种不同分析仪的无缝集成
- 表面镀金的高隔离度三轴载物台,可用于低漏电测量,最高支持3kV
- 支持100A大电流测试,接触电阻最低
- 可升级成10kV测试(同轴)
- 薄晶圆处理能力
- 防电弧设计和先进的接地概念
- 带互锁的屏蔽罩,用于EMI /不透光环境
- 为使用者和器件提供了针对高压电击的最大程度保护
MPS150 主要特征

灵活性
- 非常适合众多的应用,如 RF、毫米波、亚太赫兹 (sub-THz) 特性分析、FA、DWC、MEMS、光电测试和 WL
- 当要求提高和增加时,可重新配置和升级
- 最大限度地缩短了设置时间,并未损失性能或准确度
- 各种不同测量仪器的无缝集成

稳定性
- 坚固的探针台框架
- 内置隔振解决方案,用于实现绝佳的减振
- 坚固的显微镜桥
- 紧凑和坚固的机械设计
- 高度准确的测量结果
- 运用了最知名的方法

简单易用
- 符合人体工程学和简单直接的设计用于实现舒适和简易的操作
- 低调的设计
- 简单的显微镜操作
- 通过拉出台实现 DUT 的快速及符合人体工程学的变更
- 最大限度减少了培训工作量
- 可快速获取测量数据
- 操作简便
视频
MPS150模块化探针台$13,880起
灵活的Cascade MPS150模块化测试解决方案
MPS150是一款简单易用、高精度的手动探针台,适用于150mm及以下尺寸晶圆和衬底的测量。根据应用提供的专用配置测量解决方案可帮助您再最短时间里以最大信心实现准确测量。MPS150是业界首选的探针台。
负载牵引建模和5G器件、晶体管电路表征
在测试和测量创新中认识纯粹的天才
我们向为半导体产业发展做出贡献的天才致敬。从早期的先驱者到今天大学的研究实验室,看看他们的贡献如何推动行业发展。
EPS150安装概述
本视频展示了EPS150COAX,EPS150COAXPLUS,EPS150TRIAX,EPS150RF与万向支架、Motic体式显微镜的快速简便安装步骤。本教程将指导不同的安装步骤并演示精细的调节功能。