Cascade
CM300xi-ULN
300mm半/全自动探针台，用于超低噪声测量
CM300xi-ULN 概述
广泛用于1/f，RTN，RTS，相位噪声等测量的300mm探针台
FormFactor通过革命性的技术增强了其行业领先的CM300xi探针台，从而满足了针对5G和其他应用的5、3和2 nm技术节点的新测试功能。新型CM300xi-ULN现在可实现前所未有的测量性能，并在晶圆上，低频闪烁，RTN和相位噪声测试领域实现了四个重要的行业首创：
PureLine 3技术
第一台实现-190dB频谱噪声的自动探针台
即插即用
集成的TestCell电源管理为整个系统，探测器和仪器提供经过全面管理和滤波的交流电源
7X24自动测量
最快可实现在30μm pad上，4X与当前效率的1/f噪声变温测量
减少安装时间和成本
独家低噪声现场勘测和系统验证服务
FormFactor的新型CM300xi-ULN（超低噪声）是一种革命性的300毫米晶圆探测系统，设计用于高精度闪烁噪声（1 / f），随机电报信号噪声（RTN或RTS）以及超灵敏设备的相位噪声测量。
借助获得专利的PureLine™3技术，ULN探测系统可将噪声降低多达32倍（1 kHz），从而在针对5G及更高应用的7/5/2 nm技术节点上改善了器件特性和建模。相较以往的探针台系统，通过消除97%以上的环境噪声，CM300xi-ULN系统创立了新的超低噪声测试的行业黄金标准。
当与噪声测量仪表（1/f, RTN, 相位噪声）集成时，CM300xi-ULN通过Contact IntelligenceTM和电动针座搭配使用，可提供业界最高效率的自动DC测量，以及采用多DUT并行的低频噪声测量，完全实现7X24作业。
最后，CM300xi-ULN降低了低噪声TestCell优化的复杂性。只需将其插入即可。 TestCell电源管理消除了所有由接地环路引起的TestCell噪声，并为整个系统，探测器和仪器提供了经过全面管理和滤波的交流电源。
此外，FormFactor特有的环境检测和系统验证功能可显著降低系统架设和工具开发的成本。帮助实验室工程师专注于获得良好的测量数据，减少昂贵的重新设计次数，从而以较低的开发成本加快产品上市时间。
*典型噪声（dBVrms/√Hz, 1kHz to 1MHz），机台和温控系统开启状态
应用范围：闪烁噪声（1 / f），随机电报噪声（RTN）和超灵敏设备的相位噪声测量
Applications: IV/CV, RF/mmW, Failure Analysis, WLRCM300xi-ULN 主要特征
PureLine 3技术
- 在被测器件（DUT）周围提供有效的无噪声环境
- 第一台实现-190dB频谱噪声的自动探针台
- 噪声最高降低32倍（1KHz），以改善针对5G及更高的7/5/2nm技术节点的器件表征和建模
- 广泛应用FormFactor的专利，电气设计知识和测量系统IP
即插即用
- 世界上第一个集成了TestCell电源管理功能的探针台（TestCell是一套连接的设备，包括测试软件，仪器，探针台，热系统以及相关的测量附件，例如电缆和晶圆上探针）
- 消除所有接地回路引起的TestCell噪声
- 低干扰场
- 为整个系统、探针台和仪表提供经过全面管理和滤波的交流电源
自主24/7运行
- 可实现30μm pad变温条件下最快4倍与现行效率的1/f噪声测量，
- ULN优化的电动针座可完全实现变温条件下自动直流和低频噪声测量
- 7X24小时作业
现场环境噪声测量
- 由FormFactor工厂培训过的工程师执行，以确定安装ULN系统的最佳位置
- 可以选择一个合适的位置，以限制有害的环境噪音，以免降低TestCell的性能
- 大大降低了设置成本和工具部署时间
- 包括四个关键噪声源的精确测量：地面振动（0.1g至1KHz范围内的µg），磁场强度（AC毫安），电源线噪声和电源线THD（总谐波失真）
系统验证服务
- 为每台CM300xi-ULN提供系统验证
- 展示与标准产品数据表相关的关键规格和性能
- 测量关键产品规格参数，例如频谱噪声密度（dBVrms /√Hz，1Hz至20MHz）和和载物台AC噪声（mW pp，DC至2.5GHz）
ULN MicroChamber™
- 探针台内部直接围绕着DUT和载物台的区域
- 确保完整的EMI / RFI屏蔽区域
- 提供黑暗和干燥的环境，以利于光敏晶体管和负温环境下器件测量
ULN功率调节单元
- 为整个系统–探针台和仪表提供经过全面管理和滤波的交流电源
- 消除了探针台与仪器之间的接地环路，这些环路会导致明显的低频噪声
- 为探针台、温控系统、上料设备、测试仪表和其他有源配件提供干净的过滤交流电源
- 提供统一的紧急关闭/紧急电源控制系统，以确保整个系统和所有仪器的安全运行。
ULN热噪声过滤模块
- 过滤外部热控制系统产生的有害噪声
- 改模块可明显减少高频噪声，最高达30dB（＞1MHz）
ULN单点接地和布线系统
- 集成了所有探针配件
- 低电阻接地连接
- 机械装配的低电阻材料和硬连接方案
- 减少“天线效应”，避免将不必要的RF噪声注入测量路径
ULN SMU滤波模块可提供精确的PLL相位噪声
- 最新开发的用于源测量单元（SMU）的DC滤波器模块
- 用于诸如锁相环电路（PLL）和压控振荡器（VCO）之类的设备的高精度相位噪声测量
- 提供超安静/干净的直流电源
- 在最大100mA DC电流处理下提供高达100dB的衰减（50Hz至80Mhz）
- 每个SMU滤波器模块支持一个通道，并且可以将多个模块一起配置以提供多通道清洁电源
业界领先的高性能工程探针
- 超低、fA 级别电流和 fF 级别电容测量（-65 °C 至 + 300 °C）
- 保证提供受到全面保护的测量（至 fA 和 fF 级别）
- 阅读更多：DCP-HTR探针和DCP 100系列探针
方便的手动晶圆装载
- 载物台安装在可以手动拉出的基座上
- 载物台可以被100%拉出
- 实现快速、安全的上下片操作
3D手动控制
- 虚拟针座承载平台提升和机台前面板XY调节旋
- 载物台在X，Y和Z方向上直观、精确的运动
- 针座承载平台可以快速、直观的执行许多任务，例如设置接触高度
Velox 探针台控制软件
- 以用户为中心的设计最大程度地减少了培训成本并提高了效率
- Windows 10兼容性可通过最先进的硬件实现最高性能和安全操作
- 全面的对齐功能–从简单的晶圆对齐和对位到先进的自动化半导体测量，实现变温条件下自动探针与pad对准。
- 为经验不足的用户简化操作流程：工作流程指南和精简的用户图形界面帮助降低培训成本
- VeloxPro选件：符合SEMI E95的测试执行软件，可简化操作和整个晶圆测试周期的安全自动测量。
测试效率和晶圆传送装置
- 自动化测量可以实现很高的效率，具备昼夜不停的运行能力
- 最多可以处理25片晶圆（200mm或300mm）
- 支持SEMI标准片盒
- 非常紧凑的全自动解决方案，占地面积小
