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Cascade Probe Systems

Cascade Probe Systems

我们提供全系列高性能工程探针台,用于晶圆级和板级测试,助力客户工艺提升,并降低使用成本。我们有完整的配套附件,例如显微镜、温控系统、软件和行业领先的探针。

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    Cascade Probes

    Test Probes

    我们提供了50余款分析探针产品,适用于晶圆,封装和板级特性描述。我们的RF、混合信号和DC系列探针可以满足所有探针测试需求。

    查看所有探针产品

      Probe Cards

      Probe Cards

      我们为存储器、RF、代工厂和逻辑器件提供了广泛的高性能探针卡产品系列,有助于降低总体生产成本、改善良率和实现“超越摩尔定律”的先进封装技术。

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        Metrology

        Metrology Systems - FRT Tools

        FRT是FormFactor的一家公司,为各个部门生产强大的表面计量工具,例如开发生产和质量控制。由于这些多传感器设备的设计和构造,FRT工具可用于多种应用。

        学到更多 @ FRT

          专业测试

          Test Expertise

          FormFactor为客户提供从整个设计到生产具有连续性的支持,从表征,建模,可靠性和设计调试,验证和生产测试。

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            关于公司

            Probe Card Manufacturing Company

            我们的客户依靠我们成熟的产品和具有丰富经验的工程师来帮助他们完成测试与测量挑战。

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              Probe Sales & Service

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                      • Summit
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                      • Infinity波导探针
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                      • Pyramid Accel 测试夹具
                      • Pyramid-MW
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                  Probe station with rollout stage for easy manual wafer loading – enables full access to the chuck and the auxiliary sites
                  Probe station with up to three auxiliary chucks for holding calibration substrates and/or cleansing pads
                  CM300xi Probe Station with Economic Thermal System for 25% lower air consumption (CDA) than other systems in the market (300l/min)
                  CM300xi Probe Station with powerful high-performance Thermal System with shortest transition times in the market
                  Gold-plated high-power MicroVac™ chuck with advanced wafer vacuum system for warped/partial thin wafers
                  Products Probe Systems 附件 载物台

                  Cascade

                  载物台

                  常温和高低温载物台

                  Probe station with rollout stage for easy manual wafer loading – enables full access to the chuck and the auxiliary sites
                  Probe station with up to three auxiliary chucks for holding calibration substrates and/or cleansing pads
                  CM300xi Probe Station with Economic Thermal System for 25% lower air consumption (CDA) than other systems in the market (300l/min)
                  CM300xi Probe Station with powerful high-performance Thermal System with shortest transition times in the market
                  Gold-plated high-power MicroVac™ chuck with advanced wafer vacuum system for warped/partial thin wafers
                  概述主要特征下载

                  载物台 概述

                  载物台和温控系统

                  所有FormFactor探针台集成专门开发的ATT常温载物台或高可靠性的高低温载物台。根据您的应用、温度和性能要求,我们提供温度范围从-60℃到300℃的多种温控系统,也提供市场上功能最强大,性能最快,到极其经济的成本最低的温控系统。

                  我们的载物台表面镀镍或镀金,保证卓越的电气性能。MicroVacTM,FemtoGuardTM专利技术可提供先进的测量精度和超低的接触电阻,且适用于翘曲/薄片。

                  模块化设计提供方便、经济高效的升级途径,可提供最高的投资安全性和最简便的定制需求。

                  全热范围温控系统(-60℃到300℃)

                  • 最强大,最快的高性能系统,可满足苛刻的要求
                  • 市场上最短的温度迁移时间
                  • 可选的ECO模式,可比市场上其他系统降低空气消耗量(CDA)(365l / min)

                  经济型温控系统(-40℃到300℃)

                  • 空气消耗量(CDA)比市场上其他系统(300l / min)低25%
                  • 功耗模式:过渡时间比市场上其他系统快15%
                  • 最佳性价比、宽温度范围温控系统

                  仅加热型温控系统(+20/+30℃到300℃)

                  • 模块化和现场可升级到低温(-40°C或-60°C):随您的需求而增长
                  • 受控环境技术(+ 20°C):精确的温度控制,甚至低于环境温度,也无需额外的冷却器

                  除了我们技术领先的同轴和三轴载物台温控系统,我们的产品组合还补充了以下专用载物台:

                  • 射频/微波载物台,最多配备三个辅助载物台,用于放置校准片和/或清洁片
                  • 可放置Taiko晶圆的大功率测试载物台,具有防电弧方案和自动对齐功能,可提供高效和高精度测量,同时提供经过认证的安全测试环境
                  • 双面测试载物台:获得专利的双面设计可以放置各种不同尺寸和设计的基板。主要用于发光器件,也可用于固定特殊的衬底,如固定在方形金属载体上的MENS管芯

                   

                  *载物台性能查看探针台参数表。

                  Applications:

                  载物台 主要特征

                  灵活性

                  • 应用灵活:同轴,三轴,RF/mmW,大功率,双面载物台
                  • 温度范围为-60°C至+ 300°C
                  • 表面镀镍或镀金
                  • 混合设计–带有冷却装置或没有冷却装置
                  • 可现场升级

                  最高效率,降低测试成本

                  • 与市场上其他系统相比,空气(CDA)消耗量少25%,但温度迁移效率不受影响
                  • 温度迁移效率比其他系统快15%

                  低热阻

                  • 低热阻技术
                  • 具有多个温度传感器的MultiSense
                  • 最佳的温度精度和均匀性

                  优异的电气性能

                  • 与地面隔离
                  • 包括用于接地和偏置的插孔
                  • 高度平坦的表面,确保接触力度的一致性

                  专利的MicroVac™技术

                  • 先进的真空系统用于局部翘曲/薄片测量
                  • 在整个晶片表面上提供均匀的真空
                  • 整个卡盘上有495个直径为200μm的微孔
                  • 五个用户可选的真空区域:即使没有覆盖所有卡盘真空孔的部分晶圆也可以保持均匀的真空
                  • 均匀的器件散热和超低的晶圆接触电阻,提高了测量精度

                  获得专利的FemtoGuard™技术

                  • 先进的屏蔽技术
                  • 全面的保护设计,实现超低噪声和低漏电测量
                  • 低残留电容可确保重复性,并提高测量精度和速度

                  智能干燥空气控制

                  • 主动CDA吹扫控制以减少干燥空气消耗

                  辅助载物台

                  • 专用RF载物台带有多达三个辅助载物台,用于放置校准片、调平片
                  • 可选不同材质:钢、陶瓷、吸附剂

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                  Icon Cascade探针台系统宣传册
                  Icon 全球服务宣传册(Cascade探针台系统)
                  Icon 探针台配件目录

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