载物台

载物台 概述

载物台和温控系统

所有FormFactor探针台集成专门开发的ATT常温载物台或高可靠性的高低温载物台。根据您的应用、温度和性能要求，我们提供温度范围从-60℃到300℃的多种温控系统，也提供市场上功能最强大，性能最快，到极其经济的成本最低的温控系统。

我们的载物台表面镀镍或镀金，保证卓越的电气性能。MicroVac^TM，FemtoGuard^TM专利技术可提供先进的测量精度和超低的接触电阻，且适用于翘曲/薄片。

模块化设计提供方便、经济高效的升级途径，可提供最高的投资安全性和最简便的定制需求。

全热范围温控系统（-60℃到300℃）

• 最强大，最快的高性能系统，可满足苛刻的要求
• 市场上最短的温度迁移时间
• 可选的ECO模式，可比市场上其他系统降低空气消耗量（CDA）（365l / min）

经济型温控系统（-40℃到300℃）

• 空气消耗量（CDA）比市场上其他系统（300l / min）低25％
• 功耗模式：过渡时间比市场上其他系统快15％
• 最佳性价比、宽温度范围温控系统

仅加热型温控系统（+20/+30℃到300℃）

• 模块化和现场可升级到低温（-40°C或-60°C）：随您的需求而增长
• 受控环境技术（+ 20°C）：精确的温度控制，甚至低于环境温度，也无需额外的冷却器

除了我们技术领先的同轴和三轴载物台温控系统，我们的产品组合还补充了以下专用载物台：

• 射频/微波载物台，最多配备三个辅助载物台，用于放置校准片和/或清洁片
• 可放置Taiko晶圆的大功率测试载物台，具有防电弧方案和自动对齐功能，可提供高效和高精度测量，同时提供经过认证的安全测试环境
• 双面测试载物台：获得专利的双面设计可以放置各种不同尺寸和设计的基板。主要用于发光器件，也可用于固定特殊的衬底，如固定在方形金属载体上的MENS管芯

*载物台性能查看探针台参数表。