载物台 概述
载物台和温控系统
所有FormFactor探针台集成专门开发的ATT常温载物台或高可靠性的高低温载物台。根据您的应用、温度和性能要求,我们提供温度范围从-60℃到300℃的多种温控系统,也提供市场上功能最强大,性能最快,到极其经济的成本最低的温控系统。
我们的载物台表面镀镍或镀金,保证卓越的电气性能。MicroVacTM,FemtoGuardTM专利技术可提供先进的测量精度和超低的接触电阻,且适用于翘曲/薄片。
模块化设计提供方便、经济高效的升级途径,可提供最高的投资安全性和最简便的定制需求。
全热范围温控系统(-60℃到300℃)
- 最强大,最快的高性能系统,可满足苛刻的要求
- 市场上最短的温度迁移时间
- 可选的ECO模式,可比市场上其他系统降低空气消耗量(CDA)(365l / min)
经济型温控系统(-40℃到300℃)
- 空气消耗量(CDA)比市场上其他系统(300l / min)低25%
- 功耗模式:过渡时间比市场上其他系统快15%
- 最佳性价比、宽温度范围温控系统
仅加热型温控系统(+20/+30℃到300℃)
- 模块化和现场可升级到低温(-40°C或-60°C):随您的需求而增长
- 受控环境技术(+ 20°C):精确的温度控制,甚至低于环境温度,也无需额外的冷却器
除了我们技术领先的同轴和三轴载物台温控系统,我们的产品组合还补充了以下专用载物台:
- 射频/微波载物台,最多配备三个辅助载物台,用于放置校准片和/或清洁片
- 可放置Taiko晶圆的大功率测试载物台,具有防电弧方案和自动对齐功能,可提供高效和高精度测量,同时提供经过认证的安全测试环境
- 双面测试载物台:获得专利的双面设计可以放置各种不同尺寸和设计的基板。主要用于发光器件,也可用于固定特殊的衬底,如固定在方形金属载体上的MENS管芯
*载物台性能查看探针台参数表。
Applications:载物台 主要特征
最高效率,降低测试成本
- 与市场上其他系统相比,空气(CDA)消耗量少25%,但温度迁移效率不受影响
- 温度迁移效率比其他系统快15%
低热阻
- 低热阻技术
- 具有多个温度传感器的MultiSense
- 最佳的温度精度和均匀性
优异的电气性能
- 与地面隔离
- 包括用于接地和偏置的插孔
- 高度平坦的表面,确保接触力度的一致性
专利的MicroVac™技术
- 先进的真空系统用于局部翘曲/薄片测量
- 在整个晶片表面上提供均匀的真空
- 整个卡盘上有495个直径为200μm的微孔
- 五个用户可选的真空区域:即使没有覆盖所有卡盘真空孔的部分晶圆也可以保持均匀的真空
- 均匀的器件散热和超低的晶圆接触电阻,提高了测量精度
获得专利的FemtoGuard™技术
- 先进的屏蔽技术
- 全面的保护设计,实现超低噪声和低漏电测量
- 低残留电容可确保重复性,并提高测量精度和速度
智能干燥空气控制
- 主动CDA吹扫控制以减少干燥空气消耗
辅助载物台
- 专用RF载物台带有多达三个辅助载物台,用于放置校准片、调平片
- 可选不同材质:钢、陶瓷、吸附剂