自动化RF测量 概述
在200mm和300mm探针台上执行真正的自动RF和毫米波(mmW)测量和校准
FormFactor推出了一款用在多种温度条件下进行RF器件自动校准和测量的新助手。面向 5G、自动驾驶和下一代 Wi-Fi 等应用的新型 RF 器件必需拥有用于其 IC 设计的最准确器件模型。每当系统漂移超过可用限值时,RF 器件建模测试结构的正常测试都需要工程师花费大量的时间来执行再校准。当变更温度时,探针的重新定位也需要使用者的干预。
凭借 FormFactor 的Contact Intelligence技术,操作员可以在整个班次中(整夜,甚至整个周末)开始测试并让探针台保持测量状态,而无需用户干预。 Contact Intelligence在多个温度下提供真正的免人工介入的自动RF校准和测量。如果系统性能超出可用限制时,电动针座加上探针识别算法配合Wincal XE校准软件可以自动从新校准。探针经过动态校正,可以实时精确地放置焊盘,以补偿温度变化时探头或设备的任何热膨胀。这样就可以在更短的时间内测试更多的设备,并且在RF测量性能方面具有更高的一致性,从而确保更准确的设计模型和更快的上市时间。
自主RF测量助手可用于以下200 mm和300 mm探针台:CM300xi,SUMMIT200,SUMMIT12000和Elite 300。
Applications:自动化RF测量 主要特征

Contact Intelligence技术
- 简单易用–经验不足的操作员只需按一下按钮即可执行高达330 GHz的RF校准。这减少了有经验的用户在每个系统上全职工作的需求。
- 缩短了浸泡时间– 如果探针偏离了与焊盘对准的状态,则系统将自动地把它们重新对准。这可减少测试时间并增加吞吐量。
- 无人值守式的使用 – 可在夜间或周末将测量作业置于运行状态,在不同的温度下测试晶圆上的所有器件,并不需要操作人员的干预。
- 校准监视和再校准 – 系统将
持续地监视校准漂移,并在漂移超过某个预先确定的限值时自动地对系统实施再校准。
视频
自动射频测试助手
FormFactor的自动射频测试助手是市场上唯一能够在多个温度条件下实现射频器件自动测量和校准的解决方案。
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自动射频校准和超高温高频晶圆探测
FormFactor公司RF市场部门主管Anthony Lord演示了在高达330GHz多种温度条件下的自动校准监测和重新校准。