IMS-K-DC

IMS-K-DC 概述

与Keysight SPA集成，全面交钥匙测量系统（IMS）用于晶圆级DC参数测量

FormFactor和Keysight应用专家将一起帮助您配置一个强大、完整的解决方案，包括：

• FormFactor探针台： CM300xi, SUMMIT200, MPS150 (其他可选)
• 手动、半自动和全自动探针台选项
• FormFactor工程探针：手动或电动定位器上的DCP系列探针（其他可选）
• FormFactor DC自动化软件：自动DC测量，可实现在小Pad上的无人值守变温测量
• 从-60℃到+300℃的全温度范围自动变温测量
• Keysight半导体参数分析仪和/或PXIe SMUs：B1500A（其他可选）
• Keysight自动化及建模软件：WaferPro XP，PathWave，IC-CAP
• 完成系统需增加：电缆、适配器、安装硬件等。

业界最高效、最精确的DC参数测量系统

对于几乎每种器件类型和半导体技术，DC参数测量对于半导体产品开发和生产的每个阶段都是重要的决定因素。它们在高级材料研究、工艺表征、器件表征和建模、设计调试、工艺监控和生产晶圆分类中发挥着关键作用。精确和可重复的DC参数测量（IV、CV、脉冲和高功率）降低了不确定性。值得信赖的结果可加速器件鉴定，并产生更精确的模型和设计工具包。反过来，这使得设计师能够更快地向市场推出更具竞争力的产品。正是为此目的，我们对分析测量系统进行了彻底改革——为晶圆片上测量提供了一个电学的崭新环境。通过消除可能破坏测试结果的环境因素，探针台实际上变得对测量仪器“不可见”。自1991年建立第一个MicroChamber®探针台以来，FormFactor的CASCADE探针台产品一直有着相同的使命-通过使用最佳数据做出最佳决策，使客户获得成功。来自行业领导者Keysight的紧密集成仪器使系统更加完善，以提供最佳的测量精度和可重复性。

实现高质量测量最快捷、最安全、最经济的途径

预验证、交钥匙、全面的、集成的FormFactor测量系统，可为重要的测试应用提供安心和即时、开箱即用的生产力

可免费提供这些益处。FormFactor的IMS解决方案不包括对Keysight产品或集成费用的加价。

世界上唯一器件表征系统，其建立于研发仪器仪表行业的第一领导者和分析探测系统的第一领导者基础之上——FormFactor IMS-K-DC。

应用：DC参数测量