CSR 校准片 概述
CSR 系列校准片凭借每款基片的高品质提供了现今可达到的最高准确度。校准标准采用坚固的硬金制造,这确保了较长的使用长寿命。
所有的 CSR 校准片都在基片本身之上包括 Open 标准,与简单地提升探测的open相比提供了一种更加准确的校准。由于我们的探测系统在激光修整工艺中使用,所以对于所有的负载 (Load) 标准,典型准确度皆优于 0.1%。而且,在 10 K 至 430 K 的温度范围内,Load 标准的电阻保持在稳定的0.3% 以内,理想值 (50 Ω)。
最后,线路标准的设计得到了优化,从而实现了在理想值 (50 Ω) 的 1.0% 之内的特征阻抗准确度(对于达 110 GHz 及更高的频率)。为此,CSR 系列保证了最佳的校准,因而保证了最准确的测量。
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校准标准
零件号 | 描述 | 间距 (µm) | |
41702 | |Z| Probe, CSR-4, GSG | 250 至 500 | |
41704 | |Z| Probe, CSR-5, GS/SG | 250 至 500 | |
56407 | |Z| Probe, CSR-6, GS/SG | 50 至 250 | |
62025 | |Z| Probe, CSR-8, GSG | 100 至 250 | |
73319 | |Z| Probe, CSR-9, GSG | 50 至 150 | |
62563 | |Z| Probe, CSR-15, GSG | 500 至 1250 | |
69061 | |Z| Probe, CSR-16, GS/SG | 500 至 1250 | |
71391 | |Z| Probe, CSR-17, GSG | 1000 至 2500 | |
67074 | |Z| Probe, CSR-18, GS/SG | 1000 至 2500 | |
51077 | |Z| Probe, CSR-30, GSGSG | 100 | |
51078 | |Z| Probe, CSR-31, GSGSG | 150 | |
51079 | |Z| Probe, CSR-32, GSGSG | 200 | |
51080 | |Z| Probe, CSR-33, GSGSG | 250 | |
51081 | |Z| Probe, CSR-34, GSGSG | 500 | |
51082 | |Z| Probe, CSR-35, GSGSG | 125 | |
51874 | |Z| Probe, CSR-41, GSSG | 125 至 150 | |
51875 | |Z| Probe, CSR-43, GSSG | 200 至 250 | |
51876 | |Z| Probe, CSR-44, GSSG | 400 至 600 | |
52379 | |Z| Probe, CSR-40, GSSG | 100 | |
53527 | |Z| Probe, CSR-50, SGS | 100 | |
53528 | |Z| Probe, CSR-51, SGS | 125 至150 | |
53529 | |Z| Probe, CSR-53, SGS | 200 至250 | |
53530 | |Z| Probe, CSR-54, SGS | 400 至 500 | |
71392 | |Z| Probe, CSR-101, GSG/GS/SG | 100 至 300 | |
136643 | |Z| Probe, 探针,硅片中的校准衬底 |