高压探针 概述
FormFactor的高功率探针提供了一个完整的功率半导体晶圆上测试的过热,低接触电阻的解决方案,结合Tesla系列在晶圆上功率器件表征系统,FormFactor的高功率探针可实现高达300 A和10,000 V的可靠且可重复的晶圆上测量。
Applications:高压探针 主要特征
- 高达 3000 V 的同轴和三轴测量
- 具有低噪声电气性能的高质量结构
- 可替换的探针针尖(多种针尖尺寸)
- 温度范围:-55ºC 至 300ºC
- 三轴测量可确保对关断状态下的器件漏电情况有更好的了解
- 高度可靠、稳定和可重复的测量
- 作为完整测量解决方案的一部分进行了整体设计
视频
TESLA200-200mm大功率探针台
Tesla200先进的晶圆级功率半导体测试系统是一种高度集成的方案,可以准确收集高压高流测量数据,确保操作人员安全。