超高功率(UHP) 概述
UHP 探针利用一次降落探查和一次设置即可在高电流和高电压条件下均提供晶圆级功率器件特性分析。通过免除使用多个探针和进行多次测量设置变更的需要,UHP 探针在晶圆级上实现了 IGBT 和 MOSFET 高功率器件的简易、快速测量,从而增加了吞吐量并改善了测量的可重复性。与 Tesla 晶圆上功率器件特性分析系统相配合,UHP 探针使您能够充分利用最新超高电流和超高电压扩展装置的高电压 / 电流切换能力。
Applications:超高功率(UHP) 主要特征
- 单次接触实现同轴条件下高达10000V 高压 和 300A脉冲的测量(600A 并行配置)
- 运用创新的多指尖设计实现了高电流的均匀分配
- 可兼容 Tesla 200/300 mm 功率器件特性分析系统
- 通过单次降落探查对高电压和高电流情况进行测试减少了测量时间
- 可针对众多的焊盘尺寸和测试电流进行准确的特性分析,对焊盘的损伤微乎其微,接触电阻也极小
- 可在宽温度范围内(-55°C 至 +300°C)提供安全、可靠和可重复的高电流 / 电压测量
视频
TESLA200-200mm大功率探针台
Tesla200先进的晶圆级功率半导体测试系统是一种高度集成的方案,可以准确收集高压高流测量数据,确保操作人员安全。