Infinity波导探针 概述
随着硅 CMOS 和 SiGe 技术的出现,器件的尺寸变得越来越小,且运行速度越来越快。在某些场合中,测试工程师需要在高达 500 GHz 及更高的频率下验证其器件的性能。这种组件 / 晶圆上探查解
随着硅 CMOS 和 SiGe 技术的出现,器件的尺寸变得越来越小,且运行速度越来越快。在某些场合中,测试工程师需要在高达 500 GHz 及更高的频率下验证其器件的性能。这种组件 / 在片测试解决方案专为应对以下挑战而设计,即:针对先进晶圆上建模和特性分析的高频测试,同时在 50 µm pad上提供低且稳定的接触电阻。在 500 GHz 频率下,最困难的问题是探针周围的电磁场。Infinity 波导探针的新型薄膜 GSG 接触针尖设计抑制了探针针尖附近的杂散电磁场。对探针针尖附近的电磁场实施控制能实现高达 500 GHz 的可重复测量,并改善针尖之间的抗干扰性能。
Applications:Infinity波导探针 主要特征
- 探针损耗典型值为 3 dB(在 140 GHz 至 200 GHz 的频率范围内),S11/S22 15 dB(典型值)
- 减少了有害耦合和传输模式
- 能够将pad几何尺寸缩减至 25 µm x 35 µm(最佳情况)
- 典型接触电阻 < 0.05 Ω(在 Al 焊盘上),< 0.02 Ω(在金焊盘上)
- WR15、WR12、WR10、WR8、WR6、WR4、WR3 和 WR2 频段可用。
视频
自动射频测试助手
FormFactor的自动射频测试助手是市场上唯一能够在多个温度条件下实现射频器件自动测量和校准的解决方案。
[geoip_detect2_show_if country="CN"]
[/geoip_detect2_show_if]
自动射频校准和超高温高频晶圆探测
FormFactor公司RF市场部门主管Anthony Lord演示了在高达330GHz多种温度条件下的自动校准监测和重新校准。