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Cascade Probe Systems

Cascade Probe Systems

我们提供全系列高性能工程探针台,用于晶圆级和板级测试,助力客户工艺提升,并降低使用成本。我们有完整的配套附件,例如显微镜、温控系统、软件和行业领先的探针。

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    Cascade Probes

    Test Probes

    我们提供了50余款分析探针产品,适用于晶圆,封装和板级特性描述。我们的RF、混合信号和DC系列探针可以满足所有探针测试需求。

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      Probe Cards

      Probe Cards

      我们为存储器、RF、代工厂和逻辑器件提供了广泛的高性能探针卡产品系列,有助于降低总体生产成本、改善良率和实现“超越摩尔定律”的先进封装技术。

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        Metrology

        Metrology Systems - FRT Tools

        FRT是FormFactor的一家公司,为各个部门生产强大的表面计量工具,例如开发生产和质量控制。由于这些多传感器设备的设计和构造,FRT工具可用于多种应用。

        学到更多 @ FRT

          专业测试

          Test Expertise

          FormFactor为客户提供从整个设计到生产具有连续性的支持,从表征,建模,可靠性和设计调试,验证和生产测试。

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            Probe Card Manufacturing Company

            我们的客户依靠我们成熟的产品和具有丰富经验的工程师来帮助他们完成测试与测量挑战。

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              Probe Sales & Service

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                    • 200 MM探针台系统
                      • Summit
                      • BlueRay
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                      • PM300
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                      • 认证二手设备
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                      • Pyramid Accel 测试夹具
                      • Pyramid-MW
                      • Pyramid RF P系列
                    • 较准工具
                      • Pyramid校准片
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                    • 计量系统
                      • MicroProf® AP
                      • MicroProf® FS
                      • MicroProf® FE
                      • MicroProf® MHU
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                      • MicroProf® 300
                      • MicroProf® 200
                      • MicroProf® 100
                • 专业测试
                  • 客户协作
                    • 分享专长
                    • 从实验室到量产
                  • 应用
                    • 先进封装
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                    • 案例分析
                    • 测试见解演示
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                  Pyramid探针卡支持

                  Pyramid探针卡支持

                  Pyramid探针卡的服务和支持信息,如常见问题解答、培训和下载产品说明(膜图纸、设计表单、用户指南、清洁指导说明和其他相关数据)。

                  • 培训和认证

                  • Pyramid探针卡常见问题解答

                  • 产品数据包

                  • 下载

                  培训和认证

                  最大化您的Pyramid Probe®探卡性能

                  半导体设计的进步以及将新产品推向市场的成本在不断上升,测试和测量工具的使用寿命就显得尤为重要。定期维护和适当的清洁会对延长探针卡的使用寿命产生重大影响,从而可以提高测试吞吐量和产量。 FormFactor提供各种培训计划,包括实际操作培训,以帮助您的团队优化探针卡性能。我们的计划旨在为Pyramid Probe客户提供确保最佳Pyramid探针卡性能所需的知识和技能,并在工程和生产测试环境中实现最长的使用寿命。

                  培训和认证计划

                  现场审查和建议报告

                  现场评审包括对测试场地、测试设备和测试程序的检查和评估。审核评估后提供的最佳实施建议可以提高Pyramid探针卡及其他探针技术的整体性能和寿命。

                  课堂培训

                  课堂培训的范围包括处理及保养Pyramid探针卡。 所有相关文件都将一一回顾,让每一位与会者充分了解如何优化探针卡的使用寿命。 课堂培训将涵盖以下内容:

                  • Pyramid探针头用户指南
                  • Pyramid探针头离线清洗
                  • Pyramid探针卡在线清洗方法
                  • 新的Pyramid探针头检查
                  • 使用过的Pyramid探卡检查

                  认证培训:课堂教学和动手

                  除了课堂上的培训,实操环节将为用户提供装配以及正确的离线清洁的实践机会。 随后通过实操审核确保所有用户掌握了正确的技术方法。 课程结束将安排笔试。 一旦通过考试和实操审核,您将获得结业证书。

                  认证培训采用现场审查

                  在两天内的培训课程中,FormFactor专家将提供课堂培训和实践培训,最后通过认证考试。此外,培训团队将评估探针卡的操作环境,并提供最佳性能建议。我们最受欢迎的软件包,培训和现场评估相结合,将帮助用户延长探针卡的使用寿命,从而提高总体拥有成本。我们全面的培训和认证计划为您提供最佳实践和实用技术,通过正确处理Pyramid探针卡来提高整体性能。

                  优化运行环境 - 减少污染,确保定期清洁以减少受损风险。

                  保养和处理 - 通过学习如何正确打开、安装、拆卸及保存探针卡,减少过度磨损的风险。

                  检查和评估 - 了解潜在的探针卡的缺陷及其影响,以及用何种方法修复或解决。

                  离线及在线清洁 - 减少颗粒物聚积可保证持续测试并延长探针卡的使用寿命。

                  准备开始?

                  Icon Pyramid 探针卡培训宣传单

                  Pyramid探针卡常见问题解答

                  主板常见问题

                  我可以得到一个定制的电路板,连接器OSSP? Expand

                  通常,定制板容易地适应。 专业化,专有的,或昂贵/难找连接器 - 像OSSP连接器 - 必须提供。

                  您有三种选择:

                  • 我们可以建立一个董事会根据您的要求;
                  • 我们可以机械地剪切和粘贴核心接口板为您提供的板; 要么
                  • 我们可以将我们的板对核心界面上为您提供设计规范,从而使您能够设计和建造自己的电路板。
                  我在哪里可以得到一个边缘连接器,用于我的48或70指Pyramid探针卡? Expand

                  我们推荐以下连接器,可以从许多电子元件分销商:

                  制造商:EDAC公司,加拿大安大略省,(416)754-3322

                  48指:EDAC系列305 P / N 305-048-500-202(CMI零件编号105-793)
                  70指:EDAC系列342 P / N 342-070-500-202(CMI零件编号105-791)

                  交流线被路由到电路板上“接地信号方形引脚”。 其理由是这样的,而且在那个时候,销相匹配的特定连接器? 扩大 Expand

                  提到的方形引脚是标准的0.100英寸的间距的方销在整个工业中通常使用的通用连接器。 您可能已经看到他们对旧PC卡或主机板配置跳线使用,之前所有的配置信息进入CMOS。

                  接地的细节与探针板的配置有所不同。 一些配置具有接地平面; 别人靠接地各行。 在任一情况下,探针芯膜布局通常具有共同的接地网格连接所有信号线的固体理由。

                  我读了微波和射频的文章,Pyramid探针卡是标准的定位安装。 有多少定位需要? 是一个适配器需要的? Expand

                  在1997年1月微波和RF制品的图6示出了使用RFC Pyramid探针定位器安装构造。 无线定位安装Pyramid探针板非常相似,区别在于所述高频连接。 在无线基板,八个SMA连接器被直接安装到电路板,并使用在电路板上的微带线路由到核心。

                  两个相对定位的使用,在任何EW或NS方向。 由于更多的自由度可供选择,安装和使用都比较复杂。

                  核心FAQ

                  我可以使用单个RF线与地面分离作为一对平衡? Expand

                  这是不推荐。 我们的用于处理差分/平衡信令标准方法是提供两个独立的RF线(例如RF1 +和RF1-),这些延迟匹配。 标准延迟失配为±10皮秒。 平衡线路对自定义延迟匹配通常提供小于〜±1.5 ps的延迟失配。

                  使用独立的信号线为差动对不强制的理想,平衡传输线的波形平衡。 在实践中没有这样的理想平衡线存在。 标准测试系统的做法(我们通常使用的Pyramid探针卡的方法)是提供两个匹配的独立的信号线,并依靠终端和信号源的强制信号的平衡。 接地电流将约为取消,提供最差分信号的好处。

                  单个RF线是不对称的传输线 - 信号和单独的接地 - 并将具有不同的寄生电容加载信号导体和接地导体。 这导致的波形和失去平衡的对称的变形。 在公共地面的单独的50欧姆线执行得更好。

                  根据我们的经验,最简单,最可靠的解决方案是使用独立的50欧姆线从右到IC。 任何企图过渡到探头平衡传输线导致弊大于利。 差动驱动装置是由信号源或通过平衡 - 不平衡变换器(平衡变压器)外部提供。

                  对于未偶联50欧姆的传输线,偶数和奇模式特性阻抗是50欧姆。 这意味着,差分信号是在相当于它在平衡传输线经历的环境。 同轴理由是在所述膜连接到公共模拟接地。 平衡 - 不平衡变换器或测试设备提供在电缆的另一端的连接。 净的接地电流将以相等和相反为相等且相反的信号,并且将取消。

                  什么是GP膜ISS负载电感 Expand

                  这取决于电阻器和探测器的取向。 使用150微米的间距GSG探针,我们得到:

                  ř从探针Lterm延伸离开= -29 pH值

                  ř下探针Lterm返回= -77 pH值

                  跨越探针接触R(或者)Lterm = -47 pH值

                  什么是PPD核聚酰亚胺的介电常数? Expand

                  简单的答案是3.5。 这是受到一些变型中,用于下述的原因。

                  聚酰亚胺吸收水分。 公布的数字表示至多在100%湿度2或3%的吸收率。 在介电常数出版变化指示关于增加相对介电常数的10%最大吸水率。

                  由于阻抗与平方根介电常数,增加的介电常数的结果的10%在仅略高于在阻抗的3%的变化而变化。

                  但人们通常不会测试晶圆水下。 内的测试地板的正常操作环境中,湿度变化,因此,阻抗变化,是小的。 到目前为止,没有一个客户已看到这是一个问题。 事实上,这就是为什么人们校准。 所有的测试仪器,电缆,插座等,具有湿度和温度的类似变化。 (诚​​然虽然,聚酰亚胺可能比大多数人对于湿度差。)

                  核心清洁FAQ

                  什么溶剂批准清洁Pyramid探针核心时使用? Expand

                  只使用异丙醇(2-丙醛)CMOS级,99.5%(IPA)或甲醇CMOS清洁金字塔探针时等级。

                  什么溶剂最好建议使用清洁低泄漏Pyramid探针芯? Expand

                  甲醇CMOS级。

                  我们建议使用溶剂了水库的? Expand

                  不,我们建议使用溶剂出溶剂挤压瓶,以确保使用每次清洁溶剂。

                  我用什么刷清洁的Pyramid探针核心探针针尖? Expand

                  专为清洁探头尖端设计画笔都包含在你原来的货。 有关更多的画笔,请联系您当地的应用或销售支持。

                  什么是金字塔上的探头内核使用的最大空气喷嘴压力? Expand

                  最多使用40磅(275千帕)的。

                  当安装Pyramid探针芯到PCB上,是有核心应安装一个特殊的方式? Expand

                  是。 请参阅Pyramid探针Core用户指南,开始对于标准(非P800-S)和P800-S内核第16页。

                  当从芯盒或印刷电路板的核心,应予完全删除帧螺钉? Expand

                  完全去除架螺丝是没有必要的。 帧螺钉是圈养,并应被松开并且不会被删除。

                  我应该如何存储内核? Expand

                  当未安装在一个印刷电路板,芯应安全地存储在用于机械保护芯盒。 与所有精密零件,芯应储存在密封的容器中,以防止灰尘和污染物,从过度的热量带走。

                  你推荐的Pyramid探针芯什么类型的在线清洗介质? Expand

                  我们建议研磨片,磨料装弹性体和涂层的泡沫作为清洁介质。 请务必仔细阅读我们的技术简介 - 金字塔探头:在线清洗方法。

                  FormFactor是否提供金字塔探针核心的任何培训? Expand

                  是。 我们提供一些不同的选择,从基本的培训来完成认证培训。 你可以找到我们的探针卡培训和认证标签训练选项的完整列表。

                  在哪里可以找到设计具体建议overtravels? Expand
                  • 看到这些数据包标签。
                  • 进入设计具体的型号和序列号
                  • 点击“获取数据”
                  • 下载最终检查文件夹中找到一致性证书

                  操作常见问题解答

                  我如何测量探头超行程我XYZ品牌探针台吗? Expand

                  如果探头站已经不提供z轴位置读出,它可以根据需要增加一个。 通常,在这些情况下,站将提供的压板升降机构,其允许接触和分离位置之间变化。 测量台板的相对垂直位置后第一电接触提供了良好的超程信息。

                  通用千分表和合适的碱提供0.5密耳或更高分辨率可以很好地用于超程测量。 这种类型的仪器在机械车间所用,并且可以从许多工业供应公司获得。

                  一个来源是MSC工业供应公司(1-800-645-7270),其特点是各种在他们的目录的计量器具选择:杠杆百分表和附件部分。 我们使用的一种配置是布朗和夏普599-585基地,以最好的最百分表。

                  如何设置超程优化Pyramid探针芯的寿命是多少? Expand

                  最常用的方法是建立于良好的接触,然后加入安全余量的25至50微米所需的超程。 许多操作开始用尽可能少的超程新卡作为将工作,然后允许根据需要维持产量探头地板逐渐增加超程,但不超过预先确定的最大值。 这最大化卡使用寿命和减少伤害垫。

                  VNA校准常见问题解答

                  Pyramid探针卡进行校准,就像任何标准的微波探头。 不要期望最高的校准精度,因为Pyramid探针卡的主要目的是生产和功能测试,并不太适合于高性能特性的应用程序。

                  我如何用我的Pyramid探针™卡进行单端口VNA校准? Expand

                  对于一个端口VNA校准,使用短的开放式负载校准系数的等效空气Coplanar®(ACP)探针间距和配置(接地 - 信号 - 接地或地面信号)。 使用下表中所示的阻抗标准底物:

                  空气共面探头(ACP)校准系数
                  C-Open (fF) GSG
                  L-short (pH)
                  L-Term (pH) GSG ISS P/N Probe Pitch (um) GS/SG ISS P/N C-Open (fF) GS/SG
                  L-short (pH)
                  L-Term (pH)
                  -9.3 2.4 -3.5 101-190 100 103-726 -11.0 33.5 36.5
                  -9.5 3.6 -2.6 101-190 125 103-726 -11.0 41.7 47.2
                  -9.7 4.8 -1.7 101-190 150 103-726 -11.0 49.8 57.8
                  -10.1 7.2 0.2 101-190 200 103-726 -11.0 66.2 79.2
                  -10.5 9.6 2.1 101-190 250 103-726 -11.0 82.5 100.5
                  -15.7 11.0 -25.0 106-682 250 106-683 -7.0 27.0 0.0
                  -13.6 15.8 -21.0 106-682 350 106-683 -7.0 28.2 0.0
                  -12.6 18.2 -19.0 106-682 400 106-683 -7.0 28.8 0.0
                  -10.5 23.0 -15.0 106-682 500 106-683 -7.0 30.0 0.0
                  -9.6 28.1 -3.3 106-682 650 106-683 -6.4 42.9 14.1
                  -9 31.6 4.4 106-682 750 106-683 -6.0 51.6 23.4
                  -7.5 40.4 23.6 106-682 1000 106-683 -5.0 73.4 46.6
                  -6 49.1 42.9 106-682 1250 106-683 -4.0 95.1 69.9

                  Coefficients for VNA calibration depend on the style and pitch of the probe, as well as the ISS used. Calibration coefficients are also suitable for corresponding Pyramid Probe contact configurations.

                  我如何用我的Pyramid探针™卡进行双端口VNA校准? Expand

                  探针卡提供了双端口校准的挑战。 固定探针间距,常与不方便定向的端口,使得它使直通校准标准的理想困难。

                  对于两端口校准,需要通标准。 通用ISS膜提供了许多不同的长度贯穿线,允许的两个端口连接。 电行为可能不是理想的,因为通它可以具有直角弯曲,额外损失,或反应性短截线由于过量长度的那个。 自定义校准直通由安装在一个平面上滑动的膜材料的印刷线的是可用的。 对于较长的贯穿线,必须进入直通流失到VNA校准套件。

                  最好的结果将使用SOLR(短开负载互惠通)在Cascade Microtech公司的VNA个Wincal校准和测量软件可校准的双端口金字塔探头校准获得。 该SOLR算法不会受直通非理想特性,且仅需要的粗略估计通延迟。

                  硅片常见问题解答

                  执行AC信号线需要的信号,并在晶片上的地面接触,或只是一个垫? Expand

                  最好是提供在晶片接地 - 信号对以便在探针 - 晶片界面最小化接地电感。 地面信号地面,甚至更好。 接地电感必须密切关注高速路,无论是插入损耗和串扰可能共享地面返回路径相邻的线。 这是用于表征测量,如矢量网络分析仪(VNA)测量尤为重要。

                  有限的频率范围可以缓解这些问题。 在功能测试应用程序,这是不寻常看到几个数字线路共用一个地。

                  我们的一些垫的只有X微米的间距。 难道这会带来什么问题? Expand

                  我们的最低焊盘间距为我们的工艺改进不断地被减少。 当然,更宽的间距和垫更容易探测和更具宽容操作失误。

                  见最小焊盘间距等重要探针卡参数最新规格当地的尺寸规格代表。

                  如何努力都在接触垫不同的金属? Expand

                  发布硬度值差别很大,但有些平均号码如下。 需要注意的是纯铜和铝是非常柔软的,但有几个%合金踢他们到400范围内。

                  金属 硬度
                  铝 100
                  铜 163
                  熔融石英 475
                  镍 700
                  硅 820
                  铑 1200
                  钨 1200

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                  Icon Pyramid 探针 – 用毛刷进行离线探卡清洁

                  Icon Pyramid探针卡的在线清洁方法

                  Icon 射频探针卡订购单

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